(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221911091.0 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 南昌昂坤半导体设备有限公司 地址 330096 江西省南昌市南昌 高新技术 产业开发区艾溪湖北路688号中兴科 技园8号厂房一层 (72)发明人 李瑞青　黄文勇　焦宏达　王林梓　 马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G01N 21/55(2014.01) G01N 21/01(2006.01) G01B 21/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种反射 率测量装置 (57)摘要 本实用新型提供一种反射率测量装置， 包括 架体及滑动式设于架体上的反射率测量组件， 反 射率测量组件包括反射率探头， 及设于反射率探 头及架体之间的手动测角仪， 手动测角仪的两端 分别设有第一转接板及第二转接板， 反射率探头 及架体分别通过第一转接板及第二转接板与手 动测角仪的两端连接。 本实用新型中的反射率测 量装置， 通过将反射率探头滑动式设于架体， 便 于对反射率探头及石墨盘 之间的高度进行调节， 进一步通过在架体与反射率探头之间设置手动 测角仪， 便于快速精确的对反射率探头的角度进 行调节， 提高调节效率。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217931383 U 2022.11.29 CN 217931383 U 1.一种反射率测量装置， 其特征在于， 包括架体及滑动式设于所述架体上的反射率测 量组件， 所述反射率测量组件包括反射率探头， 及设于所述反射率探头及所述架体之间的 手动测角仪， 所述手动测角仪的两端分别设有第一转接板及第二转接板， 所述反射率探头 及所述架体分别通过 所述第一 转接板及所述第二 转接板与所述手动测角仪的两端连接 。 2.根据权利要求1所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述架体包括固定抱夹及 设于 所述固定抱夹上 的支撑轴， 所述支撑轴 上设有探头抱夹， 所述第二转接板固定于所述探头 抱夹的一侧。 3.根据权利要求2所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述探头抱夹的一端设有滑动 组件， 所述手动测角仪及所述反射 率探头通过所述滑动组件滑动式设于所述架体。 4.根据权利要求3所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述滑动组件包括固定于所述 探头抱夹一侧的固定滑块， 及设于所述固定滑块一侧的滑动滑块， 所述滑动滑块的一侧设 有所述第二 转接板。 5.根据权利要求4所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述滑动组件还包括设于所述 固定滑块一侧的第一调节旋钮及第二调节旋钮， 所述第一调节旋钮及所述第二调节旋钮均 用于控制所述滑动滑块相对所述固定滑块移动。 6.根据权利要求1所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述反射率探头的一侧设有转 台， 所述第一 转接板通过紧 固件与所述 转台连接 。 7.根据权利要求1所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述手动测角仪包括设于所述 第二转接板一侧的固定座， 所述固定座上开设有弧形槽， 所述固定座的一侧 通过所述弧形 槽滑动式设有滑台， 所述滑台的一侧设有所述第一 转接板。 8.根据权利要求7所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述手动测角仪还包括丝杆驱 动组件， 所述丝杆驱动组件包括设于所述固定座内的丝杆， 所述固定座的一侧设有用于驱 动所述丝杆转动的把手， 所述丝杆 上套设有螺套， 所述螺套连接所述滑台。 9.根据权利要求1 ‑8任一项所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述反射率探头包括 壳体及设于所述壳体内的发光镜头及接收镜头， 所述 发光镜头的一侧设有用于传输光线的 光纤， 所述接收镜 头的一端设有处 理器， 所述壳体上设有与所述处 理器连接的数据接口。 10.根据权利要求9所述的反射率测量装置， 其特征在于， 所述反射率测量装置还包括 显示组件， 所述显示组件通过 所述数据接口与所述反射 率探头电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217931383 U 2一种反射率测量装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及测量设备技 术领域， 特别涉及一种反射 率测量装置 。 背景技术 [0002]石墨盘用于LED芯片的外延生长过程中， 对衬底进行装载， 石墨盘由高纯石墨制 成， 其表面镀有SIC 涂层， 由于石墨盘单价较高， 所以一般会重复使用。 [0003]在对石墨盘使用之前， 通常会通过反射率探头对其表面的反射率进行检测， 上述 反射率探头包括用于发射入射 光的发光镜 头， 及用于 接收反射 光的两个反射镜 头。 [0004]发光镜头及反射镜头需保持特定的角度固定于支架上， 在使用前 需要对支架及石 墨盘之间的相对位置进 行调节， 现有技术中， 通常是通过手动对反射率探头进 行调节， 调节 效率较低。 实用新型内容 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型的目的在于提供一种反射率测量装置， 旨在解 决现有技 术中， 调节效率较低的技 术问题。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型是通过如下技术方案来实现的： 一种反射率测量 装置， 包括架体及滑动式设于所述架体上 的反射率测 量组件， 所述反射率测 量组件包括反 射率探头， 及设于所述反射率探头及所述架体之间的手动测角仪， 所述手动测角仪的两端 分别设有第一转接板及第二转接板， 所述反射率探头及所述架体分别通过所述第一转接板 及所述第二 转接板与所述手动测角仪的两端连接 。 [0007]与现有技术相比， 本 实用新型的有益效果在于： 通过设置架体， 并在架体上设置反 射率测量组件， 反射率测量组件包括反射率探头， 及设于反射率探头及架体之间的手动测 角仪， 手动测角仪的两端分别设有第一转接板及第二转接板， 反射率探头及架体分别通过 第一转接板及第二转接板与手动测角仪的两端连接， 通过将反射率探头滑动式设于架体， 便于对反射率探头及石墨盘之 间的高度进 行调节， 进一步通过在架体与反射率探头之 间设 置手动测角仪， 便 于快速精确的对反射 率探头的角度进行调节， 提高调节效率。 [0008]根据上述技术方案的一方面， 所述架体包括固定抱夹及设于所述固定抱夹上的支 撑轴， 所述支撑轴上设有探 头抱夹， 所述第二 转接板固定于所述探 头抱夹的一侧。 [0009]根据上述技术方案 的一方面， 所述探头抱夹 的一端设有滑动组件， 所述手动测角 仪及所述反射 率探头通过所述滑动组件滑动式设于所述架体。 [0010]根据上述技术方案的一方面， 所述滑动组件包括固定于所述探头抱夹一侧的固定 滑块， 及设于所述固定滑块 一侧的滑动滑块， 所述滑动滑块的一侧设有所述第二 转接板。 [0011]根据上述技术方案的一方面， 所述滑动组件还包括设于所述固定滑块一侧的第一 调节旋钮及第二调节旋钮， 所述第一调节旋钮及所述第二调节旋钮均用于控制所述滑动滑 块相对所述固定滑块移动。 [0012]根据上述技术方案 的一方面， 所述反射率探头 的一侧设有转台， 所述第一转接板说　明　书 1/4 页 3 CN 217931383 U 3