(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221564289.6 (22)申请日 2022.06.21 (73)专利权人 马鞍山思派科创科技有限公司 地址 243000 安徽省马鞍山市马鞍山承接 产业转移示范园区常韦路125 -2号 (72)发明人 王祥东　王刚　 (74)专利代理 机构 杭州寒武纪知识产权代理有 限公司 3 3271 专利代理师 王晶晶 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体 化装置 (57)摘要 本实用新型涉及芯片检测设备技术领域， 公 开了一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体 化装置， 包括调节观测结构和显微镜观测结构， 调节观测结构的上端位置处固定连接有显微镜 观测结构， 调节观测结构 包括旋转台面、 上台面、 下台面、 第一铰架和第二铰架， 上台面的中心转 动连接有旋转台面， 上台面的侧端位置固定连接 有第一铰架， 第一铰架的底端位置与第二铰架相 铰接设置， 第二铰架的下端位置与下台面相固定 连接。 本实用新型为基于光学显微镜的芯片外观 检测一体化装置， 通过调节观测结构和显微镜观 测结构的设置， 实现 芯片外观检测的目的。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 218180684 U 2022.12.30 CN 218180684 U 1.一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 包括调节观测结构(1)和显微镜 观测结构(2)， 所述调节观测结构(1)的上端位置处固定连接有显微镜观测结构(2)， 其特征 在于： 所述调节观测结构(1)包括旋转台面(4)、 上台面(5)、 下台面(6)、 第一铰架(7)和第二 铰架(8)， 所述上台面(5)的中心转动连接有旋转台面(4)， 所述上台面(5)的侧端位置固定 连接有第一铰架(7)， 所述第一铰架(7)的底端位置与第二铰架(8)相铰接 设置， 所述第二铰 架(8)的下端位置与下台面(6)相固定连接； 所述显微镜观测结构(2)包括伸缩调节座(13)、 显微镜(14)、 第三铰架(15)、 连杆(16)， 所述伸缩调节 座(13)的前端固定连接有 连杆(16)， 所述连杆(16)的前端转动连接有第三铰 架(15)， 所述第三铰架(15)的前端固定连接有显微镜(14)。 2.根据权利要求1所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述调节观测结构(1)还包括调节 安装架(3)， 所述下台面(6)的底端位置固定连接有调 节安装架(3)。 3.根据权利要求2所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述调节观测结构(1)还包括定位架(9)、 支撑架座(10)、 插接底架(11)和限位槽架 (12)， 所述调节 安装架(3)的侧端与限位槽架(12)插接设置， 所述限位槽架(12)的底端固定 连接有插接底架(11)， 所述插接底架(11)的前端固定连接有支撑架座(10)， 所述支撑架座 (10)的侧端固定连接有定位架(9)。 4.根据权利要求3所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述显微镜观测结构(2)还包括第一紧固架(17)和第二紧固架(18)， 所述伸缩调节座 (13)的侧端固定连接有第二紧固架(18)， 所述连杆(16)的中心与第一紧固架(17)插接设 置。 5.根据权利要求4所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述定位架(9)通过侧端位置与第一紧固架(17)、 第二紧固架(18)相固定连接， 且显微 镜(14)处于调节 观测结构(1)的上端顶部位置处。 6.根据权利要求5所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述旋转台面(4)在上台面(5)内旋转设置， 且旋转台面(4)、 上台面(5)均采用玻璃材质 设置。 7.根据权利要求6所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述上台面(5)通过第一铰架(7)与下台面(6)相转动连接， 且 下台面(6)与定位架(9)相 限位接触。 8.根据权利要求7所述的一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 其特征在 于： 所述调节安装架(3)通过定位架(9)、 支撑架座(10)、 插接底架(11)、 限位槽架(12)限位 连接， 且调节安装架(3)与定位架(9)、 支撑架座(10)、 插接底架(11)、 限位槽架(12)适配设 计。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218180684 U 2一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体 化装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及芯片检测设备技术领域， 具体为一种基于光学显微镜的芯片外观 检测一体化装置 。 背景技术 [0002]芯片外观检测装置可通过显微镜进行观测， 实现内部 的检测工作， 且芯片外观检 测的观察， 方便进 行芯片的表 面检测任务， 帮助进 行芯片的生产加工工作， 提高整体的质量 控制目的。 [0003]在使用验片台检验芯片外观时， 经常需要校准芯片位置来保持低倍显微镜光线处 于垂直照射的状态， 带来视野观测时间的浪费和手动调节的麻烦， 芯片在检验时， 需要不停 的调整低倍镜高度以适应不同的芯片位置， 显然是一种低效率的使用方式， 员工进行操作 时经常会因为频繁进 行位置调整， 而对 学习使用机台造成麻烦， 在观察时， 容易产生视野疲 劳。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置， 以 解决上述背景技 术中提出的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种基于光学显微镜的芯片外 观检测一体化装置， 包括调节观测结构和显微镜观测结构， 所述调节观测结构的上端位置 处固定连接有显微镜观测结构， 所述调节观测结构包括旋转台面、 上台面、 下台面、 第一铰 架和第二铰架， 所述上台面的中心转动连接有旋转台面， 所述上台面的侧端位置固定连接 有第一铰架， 所述第一铰架的底端位置与第二铰架相 铰接设置， 所述第二铰架的下端位置 与下台面相固定连接； [0006]所述显微镜观测结构包括伸缩调节座、 显微镜、 第三铰架、 连杆， 所述伸缩调节座 的前端固定连接有连杆， 所述连杆的前端转动连接有第三铰架， 所述第三铰架的前端固定 连接有显微镜 。 [0007]优选的， 所述调节观测结构还包括调节安装架， 所述下台面的底端位置固定连接 有调节安装架。 [0008]优选的， 所述调节观测结构还包括定位架、 支撑架座、 插接底架和限位槽架， 所述 调节安装架的侧端与限位槽架插接设置， 所述限位槽架的底端固定连接有插接底架， 所述 插接底架的前端固定连接有支撑架座， 所述支撑架座的侧端固定连接有定位架。 [0009]优选的， 所述显微镜观测结构还包括第一紧固架和第二紧固架， 所述伸缩调节座 的侧端固定连接有第二紧 固架， 所述连 杆的中心与第一紧 固架插接设置 。 [0010]优选的， 所述定位架通过侧端位置与第一紧固架、 第二紧固架相固定连接， 且显微 镜处于调节 观测结构的上端顶部位置处。 [0011]优选的， 所述旋转台面在上台面内旋转设置， 且旋转台面、 上台面均 采用玻璃材质说　明　书 1/3 页 3 CN 218180684 U 3