(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221682978.7 (22)申请日 2022.06.30 (73)专利权人 厦门福信光电集成有限公司 地址 361000 福建省厦门市软件园观日路 30号204单 元 (72)发明人 洪亚德　王士奇　赵凌焜　 (74)专利代理 机构 厦门致群财富专利代理事务 所(普通合伙) 35224 专利代理师 巫其荣 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种衬底位 错缺陷检测设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种衬底位错缺陷检测 设备， 包括机架、 光学检测器、 载物台； 所述光学 检测器设置于机架上端， 载物台设置于机架下 端； 所述载物台包括安装板、 真空发生器和多个 吸附件； 所述安装板设置有吸气腔， 安装板上端 设置有多个吸气孔； 所述真空发生器与吸气腔连 通； 所述吸附件包括漏斗部、 喇叭部、 安装环和密 封圈； 所述喇叭部下端与漏斗部上沿固定连接， 喇叭部上端倾斜向外侧延伸； 所述漏斗部下端与 吸气孔螺纹连接； 所述安装环固定于漏斗部中间 外壁， 密封圈固定于安装环下端； 所述吸气孔上 端外侧的安装板上设置有密封槽； 所述安装环下 端与安装板紧贴且密封圈紧密嵌入密封槽内， 通 过真空发生器将待测的晶体材料吸附在喇叭部 上。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217786930 U 2022.11.11 CN 217786930 U 1.一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 包括机架( 1)、 光学检测器(2)、 载物台 (3)； 所述光学检测器(2)设置于机架(1)上端， 载物台(3)设置于机架(1)下端； 所述载物台 (3)包括安装板(30)、 真空发生器(31)和多个吸附件(32)； 所述安装板(30)内部设置有吸气 腔(300)， 安装板(30)上端设置有多个与吸气腔(300)连通的吸气孔(301)； 所述真空发生器 (31)的吸气端与吸气腔(300)连通； 所述吸附件(32)包括漏斗部(320)、 软质的喇叭部 (321)、 安装环(322)和密封圈(323)； 所述喇叭部(321)下端与漏斗部(320)上沿固定连接， 喇叭部(321)上端倾斜向外侧延伸； 所述漏斗部(320)下端与吸气孔(301)螺纹连接； 所述安 装环(322)固定于漏斗部(320)中间外壁， 密封圈(323)固定于安装环(322)下端； 所述吸气 孔(301)上端外侧的安装板(30)上设置有密封槽(302)； 所述安装环(322)下端与安装板 (30)紧贴且密封圈(323)紧密嵌入密封槽(302)内， 通过真空发生器(31)将待测的晶体材料 (4)吸附在喇叭部(321)上。 2.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述漏斗部(320)的 厚度从下到上 逐渐减小。 3.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述安装环(322)上 端的漏斗 部(320)上设置有用于控制通气流 量的气阀(324)。 4.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述漏斗部(320)内 腔紧密嵌设有过 滤塞网(325)； 所述过 滤塞网(325)上端固定有把手(326)。 5.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述吸气孔(301)为 阶梯孔， 漏斗部(320)下端固定有橡胶管(327)； 所述橡胶管(327)下端设置有嵌槽(3270)， 阶梯孔内的安装板(3 0)上固定有嵌环(3 03)； 所述嵌环(3 03)紧密嵌入嵌槽(3270)内。 6.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述机架(1)上端固 定有第一位移机构(5)， 光学检测器(2)固定于第一位移机构(5)上， 通过第一位移机构(5) 带动光学检测器(2)左右移动； 所述机架(1)下端固定有第二位移机构(6)， 安装板(30)固定 于第二位移机构(6)上， 通过第二 位移机构(6)带动安装板(3 0)前后移动。 7.如权利要求1所述的一种衬底位错缺陷检测设备， 其特征在于： 所述机架(1)上设置 有显示器(7)； 所述显示器(7)与光学检测器(2)连接， 通过显示器(7)观察检测情况。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217786930 U 2一种衬底位错缺陷检测设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及检测设备技 术领域， 具体的说是一种衬底位 错缺陷检测设备。 背景技术 [0002]位错又可称为差排， 在材料科学中， 指晶体材料的一种内部微观缺陷， 即原子的局 部不规则排列造成的晶体学缺陷。 从几何角度看， 位错属于一种线缺陷， 可视为晶体中已滑 移部分与未滑移部分的分界线， 其存在 对材料的物理性能， 具有极大的影响。 而对于硅衬底 的有源区来说， 如果存在该种异常， 即位错的线缺陷正好位于器件的有源区， 会造成 “结穿 刺现象”， 这样往往对器件的电学性能造成影响， 造成一定的电学失效， 而这种 “结穿刺现 象”的漏电影响程度与位错的密度与位错的深度成一定的正比。 为了全面检测晶体材料 的 不同区域， 常需移动晶体材料， 以便于光学检测 器对晶体材料进行检测。 然而， 现有的底位 错缺陷检测设备通常采用夹具夹持晶体材料， 这种夹持方式不仅容易对晶体材料造成损 伤， 而且其夹持部位 容易遮挡晶体， 检测过程较为 不便。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于提供一种衬底位错缺陷检测设备， 该衬底位错缺陷检测设 备的密封圈紧密嵌入密封槽内， 可有效提高吸 附件与安装板的密封性， 当真空发生器启动 后， 可将待测的晶体材料吸附在软质的喇叭部上， 安装或拆卸简单方便， 不易造成晶体材料 损伤， 且不会造成检测遮挡。 [0004]为实现上述目的， 本实用新型采用以下技 术方案： [0005]一种衬底位错缺陷检测设备， 包括机架、 光学检测器、 载物台； 所述光学检测器设 置于机架上端， 载物台设置于机架下端； 所述载物台包括安装板、 真空发生器和多个吸附 件； 所述安装板内部 设置有吸气腔， 安装板上端设置有多个与吸气腔连通的吸气孔； 所述真 空发生器的吸气端与吸气腔连通； 所述吸附件包括漏斗部、 软质的喇叭部、 安装环和密封 圈； 所述喇叭部下端与漏斗部上沿 固定连接， 喇叭部上端倾斜向外侧延伸； 所述漏斗部下端 与吸气孔螺纹连接； 所述安装环固定于漏斗部中间外壁， 密封圈固定于安装环下端； 所述吸 气孔上端外侧的安装板上设置有密封槽； 所述安装环下端与安装板紧贴且密封圈紧密嵌入 密封槽内， 通过真空发生器将待测的 晶体材料吸附在喇叭部上。 [0006]进一步的， 所述漏斗 部的厚度从下到上 逐渐减小。 [0007]进一步的， 所述 安装环上端的漏斗 部上设置有用于控制通气流 量的气阀。 [0008]进一步的， 所述漏斗 部内腔紧密嵌设有过 滤塞网； 所述过 滤塞网上端固定有把手。 [0009]进一步的， 所述吸气孔为阶梯孔， 漏斗部下端固定有橡胶管； 所述橡胶管下端设置 有嵌槽， 阶梯孔内的安装板上固定有嵌环； 所述嵌环紧密嵌入嵌槽内。 [0010]进一步的， 所述机架上端固定有第一位移机构， 光学检测器固定于第一位移机构 上， 通过第一位移机构带动光学检测器左右移动； 所述机架下端固定有第二位移机构， 安装 板固定于第二位移机构上， 通过第二 位移机构带动安装板前后移动。说　明　书 1/3 页 3 CN 217786930 U 3