(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221885948.6 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 南昌昂坤半导体设备有限公司 地址 330096 江西省南昌市南昌 高新技术 产业开发区艾溪湖北路688号中兴科 技园8号厂房一层 (72)发明人 李瑞青　黄文勇　王林梓　焦宏达　 马铁中　 (74)专利代理 机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11201 专利代理师 何世磊 (51)Int.Cl. G02B 7/00(2021.01) G02B 7/198(2021.01) G01N 21/55(2014.01)G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种镜头安装装置、 镜头及反射 率检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种镜头安装装置、 镜头及 反射率检测装置， 该镜头安装装置包括安装框 架， 安装框架内设有镜头座， 镜头座上转动式设 有用于固定镜面反射镜头的第一调节架， 及用于 固定发光镜头的第二调节架， 安装框架上开设有 定位孔。 本实用新型中的镜头安装装置， 由于发 光镜头的一端需要外接光纤， 通过设置定位孔在 安装时可通过将光纤穿过定位孔完成发光镜头 的初步定位， 通过设置另外两个定位孔， 具体使 用时， 可在镜面反射镜头及漫反射镜头的一侧外 接光纤， 利用开设的定位孔可完成镜面反射镜头 及漫反射镜头的初步定位， 由于调节架转动式设 于镜头座上， 通过设置上述三个光纤可便于光学 调试时镜头角度的快速调整， 从而提高装配效 率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217543492 U 2022.10.04 CN 217543492 U 1.一种镜头安装装置， 其特征在于， 包括安装框架， 所述安装框架内设有用于 固定漫反 射镜头的镜头座， 所述安装框架上开设有与所述镜头座底部对应设置的开口槽， 所述镜头 座包括用于固定所述漫反射镜头的本体部， 及由所述本体部一端延伸形成的两个固定部， 两个所述固定部的一侧分别转动式设有用于固定镜面反射镜头的第一调节架， 及用于固定 发光镜头的第二调节架， 所述安装框架上开设有分别用于定位所述发光镜头、 漫反射镜头 及镜面反射镜头的三个定位孔， 三个所述定位孔均设于所述安装框架远离所述开口槽的一 侧。 2.根据权利要求1所述的镜头安装装置， 其特征在于， 所述镜头座上分别开设有与 所述 第二调节架对应设置的出光孔、 与所述第一调节架对应设置的第一进光孔及与所述本体部 对应设置的第二进光 孔。 3.根据权利要求1所述的镜头安装装置， 其特征在于， 所述第 一调节架及所述第 二调节 架均包括底座， 及设于所述底座上的固定架。 4.根据权利要求3所述的镜头安装装置， 其特征在于， 两个所述固定架上均设有第 一球 头柱塞， 两个所述第一球头柱塞分别用于固定 镜面反射镜 头及发光镜 头。 5.根据权利要求3所述的镜头安装装置， 其特征在于， 所述底座与所述固定部之间设有 转轴。 6.根据权利要求3所述的镜头安装装置， 其特征在于， 所述固定部的一端设有第 二球头 柱塞， 所述底座 通过所述第二球头柱塞固定 于所述镜 头座。 7.根据权利要求1所述的镜头安装装置， 其特征在于， 所述安装框架内还设有电路板， 所述电路板 设于所述本体部与所述第一调节架之间， 所述安装框架靠近所述电路板的一侧 设有数据接口。 8.一种镜 头， 其特征在于， 包括权利要求1 ‑7任一项所述的镜 头安装装置。 9.一种反射 率检测装置， 其特 征在于， 包括权利要求8所述的镜 头。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217543492 U 2一种镜头 安装装置、 镜头及反射率检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及检测设备技术领域， 特别涉及一种镜头安装装置、 镜头及反射率 检测装置 。 背景技术 [0002]石墨盘用于LED芯片的外延生长过程中， 对衬底进行装载， 石墨盘由高纯石墨制 成， 其表面镀有SIC 涂层， 由于石墨盘单价较高， 所以一般会重复使用。 [0003]在对石墨盘使用之前， 通常会通过特定镜头对其表面的反射率进行检测， 上述特 定镜头包括用于发射入射 光的发光镜 头， 及用于 接收反射 光的两个反射镜 头。 [0004]现有技术中， 发光镜头及反射镜头需保持特定 的角度固定于支架上， 在对发光镜 头及反射镜 头的固定过程中， 需要手动对镜 头的安装角度不断进行调试， 装配效率较低。 实用新型内容 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型的目的在于提供镜头安装装置、 镜头及反射率 检测装置， 旨在解决现有技 术中， 装配效率较低的技 术问题。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型是通过如下技术方案来实现的： 一种镜头安装装 置， 包括安装框架， 所述安装框架内设有用于固定漫反射镜头的镜头座， 所述安装框架上开 设有与所述镜头座底部对应设置的开口槽， 所述镜头座包括用于固定所述漫反射镜头的本 体部， 及由所述本体部一端延伸形成的两个固定部， 两个所述固定部的一侧分别转动式设 有用于固定镜面反射镜头的第一调节架， 及用于固定发光镜头的第二调节架， 所述安装框 架上开设有分别用于定位所述发光镜头、 漫反射镜头及镜面反射镜头的三个定位孔， 三个 所述定位 孔均设于所述 安装框架远离所述 开口槽的一侧。 [0007]与现有技术相比， 本 实用新型的有益效果在于： 通过设置安装框架， 并在安装框架 内设置用于固定漫反射镜头的镜头座， 安装框架上开设有于镜头座底部对应设置的开口 槽， 镜头座包括用于固定漫反射镜头的本体部， 及由本体部一端延伸形成的两个固定部， 两 个固定部的一端分别转动式设有用于固定镜面反射镜头的第一调节架， 及用于固定发光镜 头的第二调节架， 由于发光镜头的一端需要外接光纤， 通过设置定位孔在安装时可通过将 光纤穿过定位孔完成发光镜头的初步定位， 通过设置另外两个定位孔， 具体使用时， 可在镜 面反射镜头及漫反射镜头的一侧外接光纤， 利用开设的定位孔可完成镜面反射镜头及漫反 射镜头的初步定位， 后续由于调节架转动式设于镜头座上， 通过上述三个光纤可便于光学 调试时镜 头角度的快速调整， 从而提高装配效率。 [0008]根据上述技术方案的一方面， 所述镜头座上分别开设有与所述第二调节架对应设 置的出光孔、 与所述第一调节架对应设置的第一进光孔及与所述本体部对应设置的第二进 光孔。 [0009]根据上述技术方案 的一方面， 所述第一调节架及所述第二调节架均包括底座， 及 设于所述底座上的固定架。说　明　书 1/4 页 3 CN 217543492 U 3