(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221734415.8 (22)申请日 2022.07.05 (73)专利权人 东莞理工学院 地址 523808 广东省东莞 市松山湖科技产 业园区大 学路1号 (72)发明人 王红成　付强　 (74)专利代理 机构 广州永华专利代理有限公司 44478 专利代理师 劳觅 (51)Int.Cl. G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 一种高精确度晶圆检测装置 (57)摘要 本实用新型提供一种高精确度晶圆检测装 置， 其包括供晶圆放置的载物台， 载物台晶圆放 置处上方设有围成容置腔的外壳， 外壳内设有远 心镜头和工业相机， 远心镜头设在工业相机和载 物台之间， 外壳内壁上设有风扇， 风扇经外壳下 端口吹向晶圆放置处。 该晶圆检测装置对晶圆进 行检测之前， 其内的风扇从外壳下端口吹出的风 会吹走晶圆表 面附着的铝屑等异物， 避免这些异 物干扰检测结果， 有效提高了 检测精确度。 权利要求书1页 说明书2页 附图3页 CN 217605698 U 2022.10.18 CN 217605698 U 1.一种高精确度晶圆检测装置， 包括供晶圆放置的载物台(2)， 载物台(2)晶圆放置处 上方设有围成容置腔的外壳(31)， 外壳(31)内设有远心镜头(32)和工业相机(33)， 远心镜 头(32)设在工业相机(33)和载物台(2)之间， 其特征是， 外壳(31)内壁上设有风扇(34)， 风 扇(34)经外壳(31)下端口吹向晶圆放置处。 2.如权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征是， 风扇(34)的出风口倾斜向下朝向容置 腔中部。 3.如权利 要求1所述的晶圆检测装置， 其特征是， 所述的远心镜头(32)和工业相机(33) 位于容置腔中部， 它 们与外壳(31)内壁之间形成风道。 4.根据权利要求1所述的 晶圆检测装置， 其特 征是， 所述风扇(34)有至少两个。 5.根据权利要求1或4所述的晶圆检测装置， 其特征是， 外壳(31)侧壁上开有对准所述 风扇(34)的进风 孔(311)。 6.如权利要求1所述的晶圆检测装置， 其特征是， 远心镜头(32)包括点光源(324)和半 反射镜(322)， 半反射镜(322)与所述工业相机(33)位于同一竖轴上， 点光源(324)发出的光 经半反射镜(32 2)反射后， 沿工业相机(3 3)的竖轴向下照射晶圆放置处。 7.如权利要求6所述的 晶圆检测装置， 其特 征是， 所述半反射镜(32 2)具体是直角棱镜 。 8.如权利要求6所述的晶圆检测装置， 其特征是， 远心镜头(32)侧壁朝外侧径向伸出形 成置物筒(323)， 点光源(324)具体设在该置物筒(323)内， 点光源(324)发光侧朝向远心镜 头(32)中部 。 9.如权利 要求8所述的晶圆检测装置， 其特征是， 所述外壳(31)侧壁上开有开口(312)， 远心镜头(32)侧壁具体从开口(312)处朝外侧伸出 形成所述置物筒(323)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217605698 U 2一种高精确度晶圆检测装 置 技术领域 [0001]本领域涉及晶圆检测领域， 尤其涉及一种高精确度晶圆检测装置 。 背景技术 [0002]半导体晶圆制作完成后， 需要进行电学性能检测， 以防不良晶圆流入市场， 现有技 术使用探针接触晶圆上 的晶粒以检测晶圆的电学性能。 制作好的晶圆， 个别会存在一些缺 陷， 例如晶圆内生长的晶体有缺陷、 晶圆有机械损伤等等。 为了避免这类不良晶圆流入市 场， 在对晶圆进行电学性能检测 后， 还需要利用晶圆检测装置对晶圆进 行缺陷检测。 现有的 晶圆检测装置包括围成 内腔的外壳、 装在外壳内腔下部的远心镜头和装在外壳内腔上部的 工业相机， 外壳下方设有用于放置晶圆的载物台， 需对晶圆进 行检测时， 测试人员把晶圆放 到载物台上， 远心镜头会对晶圆进 行放大， 形成 高清放大的晶圆光学图像， 工业相机对该晶 圆光学图像进行拍摄， 然后将所拍摄到的晶圆图像上传到电脑端进行图像分析、 处理和缺 陷识别。 [0003]在电学性能检测过程中， 有时会有铝屑等异物附着在晶圆表面上， 这些异物在晶 圆进行缺陷检测时， 会被工业相机拍摄进晶圆图像中， 被检测装置识别成晶圆缺陷， 导致检 测装置将优良晶圆误判为 不良晶圆， 影响检测装置的检测精确度。 发明内容 [0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高精确度晶圆检测装置， 其不会被附 着在晶圆表面上的铝屑等异 物干扰检测结果， 提高检测精确度。 [0005]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供一种高精确度晶圆检测装置， 其包括供 晶圆放置的载物台， 载物台晶圆放置处上方设有围成容置腔的外壳， 外壳内设有远心镜头 和工业相机， 远心镜头 设在工业相机和载物台之间， 外壳内壁上设有风扇， 风扇经外壳下端 口吹向晶圆放置处。 [0006]进一步地， 风扇的出风口倾 斜向下朝向容置腔中部 。 [0007]进一步地， 本实用新型所给出的远心镜头和工业相机位于容置腔中部， 它们与外 壳内壁之间形成风道。 [0008]进一步地， 本实用新型 所给出的风扇有至少两个。 [0009]进一步地， 外壳侧壁上开有对准本实用新型 所给出的风扇的进风 孔。 [0010]进一步地， 远心镜头包括点光源和半反射镜， 半反射镜与工业相机位于同一竖轴， 点光源发出的光经半反射镜反射后， 沿工业相机的竖轴向下照射晶圆放置处。 [0011]进一步地， 半反射镜具体是直角棱镜 。 [0012]进一步地， 远心镜头侧壁朝外侧径向伸出形成置物筒， 点光源具体设在该置物筒 内， 发光侧朝向远心镜 头中部。 [0013]进一步地， 外壳侧壁上开有开口， 远心镜头侧壁具体从开口处朝外侧伸出形成所 述置物筒。说　明　书 1/2 页 3 CN 217605698 U 3