(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221731124.3 (22)申请日 2022.07.05 (73)专利权人 深圳市标谱半导体股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区航城街 道三围社区内环路同富裕工业园茶树 A栋1层-3层、 5-8层 (72)发明人 段雄斌　张利利　庞华贵　何选民　 (74)专利代理 机构 深圳中一联合知识产权代理 有限公司 4 4414 专利代理师 许烁 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/84(2006.01) (54)实用新型名称 晶元蓝膜测试盘及晶元测试机 (57)摘要 本申请属于晶元测试技术领域， 尤其涉及一 种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机， 该晶元蓝膜测 试盘包括基板、 支撑板、 子母环和铁环： 所述基板 开设有镂空孔； 所述支撑板安装于所述基板上， 并封盖住所述镂空孔； 所述子母环 安装于所述基 板上， 并环绕所述支撑板设置； 所述铁环安装于 所述基板上， 并环绕所述子母环设置。 该晶元蓝 膜测试盘能够兼容铁环及子母环的测试固定方 式， 即能够兼容不同的晶元蓝膜固定方式； 另外， 在生产过程中， 如需要更换不同的固定方式， 也 无需更换晶元蓝膜测试盘， 选择对应固定方式的 固定部件即可， 从而大 大提高了转产速度。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 217786881 U 2022.11.11 CN 217786881 U 1.一种晶元蓝膜测试盘， 其特 征在于， 包括： 基板， 所述基板开设有镂空孔； 支撑板， 所述支撑 板安装于所述基板上， 并封 盖住所述镂空孔； 子母环， 所述子母环安装于所述基板上， 并环绕所述支撑 板设置； 以及 铁环， 所述铁环安装于所述基板上， 并环绕所述子母环设置 。 2.根据权利要求1所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述铁环与 所述基板磁性吸附 连接。 3.根据权利要求2所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述基板设置有多个磁铁， 所 述磁铁沿所述铁环的周向间隔分布， 并与所述铁环磁性吸附连接 。 4.根据权利要求1所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述基板设置有多个定位柱， 所述定位柱沿所述铁环的周向分布， 所述定位的外周壁与所述铁环的外周壁抵 接。 5.根据权利要求1～4任一项所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述基板设置有环 形凸起， 所述环形凸起环绕所述支撑板设置， 所述环形凸起位于所述支撑板与所述子母环 之间。 6.根据权利要求5所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述环形凸起背向所述基板的 端面开设有用于吸附晶元蓝膜的真空槽 。 7.根据权利要求6所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述真空槽为沿所述环形凸起 周向延伸的环形槽 。 8.根据权利要求7所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述环形凸起背向所述基板的 端面还开设有多个真空孔， 所述真空孔沿所述环形槽的周向均匀分布， 且各所述真空孔均 与所述真空槽连通。 9.根据权利要求5所述的晶元蓝膜测试盘， 其特征在于： 所述环形凸起的外周壁开设有 缺口。 10.一种晶元测试机， 其特 征在于： 包括权利要求1～ 9任一项所述的 晶元蓝膜测试盘。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217786881 U 2晶元蓝膜测试 盘及晶元测试机 技术领域 [0001]本申请属于晶元测试技 术领域， 尤其涉及一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机 。 背景技术 [0002]晶元蓝膜广泛地应用于芯片封装领域， 晶元通常贴合在晶元蓝膜的表面进行储 存， 而在实际的芯片 封装制作过中， 需要对贴合在晶元蓝膜表面的晶元进 行测试， 目前通常 是将晶元蓝膜固定在芯片测试设备内的测试盘上， 然后， 再利用芯片测试设备内的测试装 置对晶元进行测试， 但是现有的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一， 不能满足晶元蓝膜多 样的固定方式， 从而导 致在测试 过程中存在换产不方便的问题。 实用新型内容 [0003]本申请的目的在于提供一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机， 旨在解决现有技术中 的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一， 不能满足晶元蓝膜多样的固定方式， 从而导致在测 试过程中存在换产不方便的技 术问题。 [0004]为实现上述目的， 本申请采用的技 术方案是： 一种晶元蓝膜测试盘， 包括： [0005]基板， 所述基板开设有镂空孔； [0006]支撑板， 所述支撑 板安装于所述基板上， 并封 盖住所述镂空孔； [0007]子母环， 所述子母环安装于所述基板上， 并环绕所述支撑 板设置； 以及 [0008]铁环， 所述铁环安装于所述基板上， 并环绕所述子母环设置 。 [0009]可选地， 所述铁环与所述基板磁性吸附连接 。 [0010]可选地， 所述基板设置有多个磁铁， 所述磁铁沿所述铁环的周向间隔分布， 并与所 述铁环磁性吸附连接 。 [0011]可选地， 所述基板设置有多个定位柱， 所述定位柱沿所述铁环的周向分布， 所述定 位的外周壁与所述铁环的外周壁抵 接。 [0012]可选地， 所述基板设置有环形凸起， 所述环形凸起环绕所述支撑板设置， 所述环形 凸起位于所述支撑 板与所述子母环之间。 [0013]可选地， 所述环形凸起背向所述基板的端面 开设有用于吸附晶元蓝膜的真空槽 。 [0014]可选地， 所述真空槽为沿所述环形凸起周向延伸的环形槽 。 [0015]可选地， 所述环形凸起背向所述基板 的端面还开设有多个真空孔， 所述真空孔沿 所述环形槽的周向均匀分布， 且各 所述真空孔均 与所述真空槽连通。 [0016]可选地， 所述环形凸起的外周壁 开设有缺口。 [0017]本申请提供的晶元蓝膜测试盘中的上述一个或多个技术方案至少具有如下技术 效果之一： 该晶元蓝膜测试盘， 由于基板上同时设置有铁环和子母环， 那么在实际的测试过 程中， 若晶元蓝膜需要采用铁环的固定方式时， 可直接利用基板上的铁环进行固定 即可； 若 晶元蓝膜需要采用子母环的固定方式时， 采用子母环进行固定即可， 这样便使得本申请实 施例的晶元蓝膜测试盘能够兼容铁环及子母环的测试固定方式， 即能够兼容不同的晶元蓝说　明　书 1/5 页 3 CN 217786881 U 3