(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221710405.0 (22)申请日 2022.07.05 (73)专利权人 敦南科技 （无锡） 有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区国家高 新技术产业开发区70号 地块 (72)发明人 谢炎忠　廖国富　张雅芳　 (74)专利代理 机构 无锡华越知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32571 专利代理师 朱锦国 (51)Int.Cl. G01V 8/10(2006.01) G01N 21/94(2006.01) G01N 21/95(2006.01) G01N 21/01(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆承片台异 物光学扫描 模块 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆承片台异物光 学扫描模块， 包括光学透镜、 光传感器、 光学机构 本体和讯号转换控制模块， 光学机构本体设有纵 向设置的透镜槽， 光学透镜安装于透镜槽内， 光 传感器安装于光学机构本体， 光传感器对准透镜 槽的底部， 光学机构本体安装于讯号转换控制模 块的外侧边， 讯号转换控制模块的端部设有信号 接口。 本实用新型讯号转换控制模块外置于光学 机构本体外， 该模块整体体积小， 其物距在5毫米 以下， 极其短焦， 适合装配于现有的晶圆针测设 备的有限安装空间中， 晶圆针测设备配置该晶圆 承片台异物光学扫描模块后， 通过扫描 图像， 侦 测出是否有异物， 可避免晶圆在 有异物时未必检 出， 而进行承片运作时的人为疏失、 造成晶圆损 害的风险。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 217932122 U 2022.11.29 CN 217932122 U 1.晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 包括光学透镜、 光传感器、 光学机构本 体和讯号转换控制模块， 所述光学机构本体设有纵向设置的透镜槽， 所述光学透镜安装于 透镜槽内， 所述光传感器安装于光学机构本体， 所述光传感器对准透镜槽的底部， 所述光学 机构本体安装于讯号转换控制模块的外侧 边， 所述光传感器与讯号转换控制模块电连接， 所述讯号 转换控制模块的端部设有信号接口。 2.根据权利要求1所述的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 所述讯号转换控 制模块的侧壁安装有保护盖， 所述保护盖覆盖住光传感器与讯号转换控制模块的电连接 处， 所述保护盖位于光学机构本体的上方， 所述保护盖和 光学机构本体安装后的高度不超 过讯号转换控制模块的高度。 3.根据权利要求2所述的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 所述光学机构本 体安装光传感器的一侧设有纵向设置的向上凸出的边沿， 所述边沿与讯号转换控制模块的 侧壁之间形成收容保护盖的空间。 4.根据权利要求3所述的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 所述边沿设有安 装孔， 所述 边沿与保护盖通过螺 丝固定， 所述 边沿安装螺 丝的位置处设有 避位槽。 5.根据权利要求1所述的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 所述光学透镜采 用阵列式光学透 镜。 6.根据权利要求1所述的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其特征在于， 所述光传感器采 用线性光传感器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217932122 U 2晶圆承片台异物光学扫描 模块 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域， 更具体涉及晶圆承片台异物光学扫描模 块。 背景技术 [0002]晶圆针测 设备承片台有异物时， 一旦异物未被检出并清除， 承片后将造成晶圆划 伤、 破裂、 定位 不精确等 等。 [0003]异物可能来自机械残留、 灰尘、 破片颗粒、 探针异物等等， 现有设备的承片台只有 平行移动及晶圆吸附功能， 有异物 时， 异物是不会被检知的。 目前， 完全靠作业人员被动式 目检清除， 非常耗时、 效率低， 且 存在人为主观问题。 [0004]现有的晶圆针测设备， 空间极度有限， 如果将现有的高拍图像模块(图  1所示)与 现有晶圆针测设备整合使用， 由于高拍图像模块其物距 一般在200  毫米至400毫米， 无法设 置在现有的针测设备中。 [0005]因此， 为了在有效的空间下， 实现对承台片上的异物实时检测， 急需研发出一款新 型的短焦的图像 检测模块。 实用新型内容 [0006]为了解决上述问题， 本实用新型提供了极短焦的晶圆承片台异物光学扫描模块， 其物距可在5毫米以下， 适用于现有的 晶圆针测设备。 [0007]根据本实用新型的一个方面， 提供了一种晶圆承片台异物光学扫描模块， 其包括 光学透镜、 光传感器、 光学机构 本体和讯号转换控制模块， 光学机构 本体设有纵向设置的透 镜槽， 光学透镜安装于透镜槽内， 光传感器安装于光学机构 本体， 光传感器对准透镜槽的底 部， 光学机构本体安装于讯号转换控制模块的外侧 边， 光传感器与讯号转换控制模块电连 接， 讯号转换控制模块的端部设有信号接口。 由此， 该晶圆承片台异物光学扫描模块， 将讯 号转换控制模块与光学机构本体分体设计， 光学机构本体只需要容纳光学透镜和光传感 器， 对比传统的接触式光源模块， 这种设计可大大减小光学机构本体的体积， 从而使整个光 学扫描模块的体积变小， 小体积的晶圆承片台异物光学扫描模块可安装于现有的晶圆针测 设备， 物距可控制在5毫米以下。 [0008]在一些实施方式中， 讯号转换控制模块的侧壁安装有保护盖， 保护盖覆盖住光传 感器与讯号转换控制模块的电连接处， 保护盖位于光学机构本体的上方， 保护盖和 光学机 构本体安装后的高度不超过讯号转换控制模块的高度。 由此， 光传感器与讯号转换控制模 块的电连接处， 通过保护盖覆盖连接处， 起到保护作用， 提高使用时的连接处的稳定性。 [0009]在一些实施方式中， 光学机构本体安装光传感器的一侧设有纵向设置的向上凸出 的边沿， 边沿与讯号转换控制模块的侧壁之 间形成收容保护盖的空间。 由此， 该边沿可便于 保护盖的快速 定位安装。 [0010]在一些实施方式中， 边沿设有安装孔， 边沿与保护盖通过螺丝固定， 边沿安装螺丝说　明　书 1/3 页 3 CN 217932122 U 3