(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221704533.4 (22)申请日 2022.07.01 (73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司 地址 518110 广东省深圳市龙华区大浪街 道同胜社区上横朗第四工业区2号 101、 201、 3 01 (72)发明人 祖建成　马砚忠　陈鲁　张嵩　 (74)专利代理 机构 深圳精智联合知识产权代理 有限公司 4 4393 专利代理师 夏声平 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 检测设备 (57)摘要 本实用新型公开一种检测设备， 所述检测设 备包括承 载装置以及第一传感器组件， 所述第一 传感器组件包括至少三个第一传感器； 所述第一 传感器与所述承 载装置连接， 所述第一传感器与 所述承载装置的中心位置之间的距离大于或等 于所述承 载装置的半径； 当所述承 载装置承 载待 测件， 所述待测件遮挡所述任一所述第一传感器 发出或接受的第一信息。 当所述承 载装置承 载待 测件时， 通过多个所述第一传感器检测所述第一 信号判断所述待测件与所述承载装置之间的相 对位置， 从而方便对所述承 载装置上的所述待测 件进行位置调节， 从而提高所述待测件的位置精 度， 提高对 待测件的检测准确率。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 218098908 U 2022.12.20 CN 218098908 U 1.一种检测设备， 其特征在于， 所述检测设备包括承载装置以及第 一传感器组件， 所述 第一传感器组件 包括至少三个第一传感器； 所述第一传感器与 所述承载装置连接， 所述第 一传感器与所述承载装置的中心位置之 间的距离大于或等于所述承载装置的半径； 当所述承载装置承载待测件， 所述待测件遮挡每个所述第 一传感器发出或接受 的第一 信号。 2.根据权利要求1所述的检测设备， 其特征在于， 所述承载装置的边缘周侧的设有多个 缺口， 所述第一传感器设于所述缺口形成的空间内， 所述缺口的数量与所述第一传感器的 数量相同。 3.根据权利要求2所述的检测设备， 其特征在于， 所述第 一传感器组件包括三个所述第 一传感器， 三个所述第一传感器均与所述承载装置连接， 且以均匀角度间隔分布于所述承 载装置的周侧边 缘。 4.根据权利要求1所述的检测设备， 其特征在于， 所述承载装置包括有安装孔， 所述安 装孔以所述承载装置的中心沿周向方向均匀设置， 所述安装孔的数量与所述第一传感器的 数量相同， 所述第一传感器设于所述安装孔内， 且所述第一传感器的高度低于所述承载装 置的承载面。 5.根据权利要求 4所述的检测设备， 其特 征在于， 所述 安装孔为通孔结构。 6.根据权利要求4所述的检测设备， 其特征在于， 所述承载装置为真空吸附型承载装 置， 所述承载装置靠近所述承载面一侧设有真空吸 附区域， 所述安装孔避让所述真空吸 附 区域。 7.根据权利要求1所述的检测设备， 其特征在于， 所述第 一传感器组件包括至少六个所 述第一传感器， 其中至少三个所述第一传感器以所述承载装置的中为圆心， 沿第一半径周 向设置， 至少三个所述第一传感器以所述承载装置的中为圆心， 沿第二半径周向设置， 第一 半径与第二半径不相等。 8.根据权利要求1所述的检测设备， 其特征在于， 所述检测设备还包括平台、 移动组件 以及第二传感器组件， 所述承载装置通过 所述移动组件与所述平台连接； 所述第二传感器组件包括至少三个第 二传感器； 每个所述第 二传感器均设于所述承载 装置的周侧且与所述平台连接， 所述第二传感器用于获取 所述承载装置的边 缘信息。 9.根据权利要求8所述的检测设备， 其特征在于， 所述第二传感器为对射传感器， 所述 第二传感器包括发射器与接 收器， 所述发射器或所述接 收器与所述平台连接， 所述发射器 与所述接收器的连线方向与所述承载装置的承载面垂直。 10.根据权利要求8所述的检测设备， 其特征在于， 所述第二传感器组件包括四个所述 第二传感器， 四个所述第二传感器以均匀角度间隔环绕所述承载装置分布。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218098908 U 2检测设备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体制造技 术领域， 尤其涉及一种检测设备。 背景技术 [0002]在对待测件的检测过程中， 通常需要将待测件传送至承载装置上， 在承载装置承 载待测件时， 为了保证检测方便， 通常会使待测件的中心与承载装置的中心进 行重合， 从而 方便后续对待测件上 的各个缺陷位置进行定位， 但是在实际检测过程中， 经常会由于检测 误差从而导致承载装置的位置发生偏移或承载装置上的待测件位置出现偏移， 从而造成待 测件的缺陷的检测信息错 误， 降低了对待测件的检测准确率。 实用新型内容 [0003]为克服现有技术中的至少部分缺陷和问题， 本实用新型实施例提供了一种检测设 备， 旨在提高对待测件的检测准确率。 [0004]具体地， 一方面， 本 实用新型一个实施例提供的一种所述检测设备， 所述检测设备 包括承载装置以及第一传感器组件， 所述第一传感器组件 包括至少三个第一传感器； [0005]所述第一传感器与所述承载装置连接， 所述第一传感器与所述承载装置的中心位 置之间的距离大于或等于所述承载装置的半径； [0006]当所述承载装置承载待测件， 所述待测件遮挡每个所述第一传感器发出或接受的 第一信号。 [0007]在一实施例中， 所述承载装置 的边缘周侧的设有多个缺口， 所述第一传感器设于 所述缺口形成的空间内， 所述 缺口的数量与所述第一传感器的数量相同。 [0008]在一实施例中， 所述第一传感器组件包括三个所述第一传感器， 三个所述第一传 感器均与所述承载装置连接， 且以均匀角度间隔分布于所述承载装置的周侧边 缘。 [0009]在一实施例中， 所述承载装置包括有安装孔， 所述安装孔以所述承载装置 的中心 沿周向方向均匀设置， 所述安装孔的数量与所述第一传感器的数量相同， 所述第一传感器 设于所述 安装孔内， 且所述第一传感器的高度低于所述承载面。 [0010]在一实施例中， 所述 安装孔为通孔结构。 [0011]在一实施例中， 所述承载装置为真空吸附型承载装置， 所述承载装置靠近所述承 载面一侧设有真空吸附区域， 所述 安装孔避让 所述真空吸附区域。 [0012]在一实施例中， 所述第一传感器组件包括至少 六个所述第一传感器， 其中至少三 个所述第一传感器以所述承载装置的中为圆心， 沿第一半径周向设置， 至少三个所述第一 传感器以所述承载装置的中为圆心， 沿第二半径周向设置， 第一半径与第二半径不相等。 [0013]在一实施例中， 所述检测设备还包括平台、 移动组件以及第二传感器 组件， 所述承 载装置通过 所述移动组件与所述平台连接； [0014]所述第二传感器 组件包括至少三个第二传感器； 每个所述第二传感器均设于所述 承载装置的周侧且与所述平台连接， 所述第二传感器用于获取 所述承载装置的边 缘信息。说　明　书 1/5 页 3 CN 218098908 U 3