(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221925068.7 (22)申请日 2022.07.25 (73)专利权人 苏州德龙激光股份有限公司 地址 215021 江苏省苏州市工业园区杏林 街98号 专利权人 江阴德力激光设备有限公司 (72)发明人 赵裕兴　袁浩　何雄飞　 (74)专利代理 机构 江苏圣典律师事务所 32 237 专利代理师 王玉国 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) B23K 101/36(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备 (57)摘要 本实用新型涉及一种组合式振镜三维激光 刻蚀及检测设备， 包括固定支 撑系统、 光学系统、 上振镜加工系统和侧振镜加工系统， 固定支撑系 统上设置有运动模组， 固定支撑系统包括大理石 底座， 大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有 大理石横梁， 大理石横梁沿着X轴方向设置且通 过大理石立柱 安装在大理石底 座上。 本实用新型 光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直 振镜和水平振镜， 配合多轴组合运动平台， 实现 高精度三维立体空间的多面体微加工 。 权利要求书2页 说明书7页 附图7页 CN 218080966 U 2022.12.20 CN 218080966 U 1.组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备， 其特征在于， 包括固定支撑系统、 光学系统 (4)、 上振镜加 工系统(5)和侧振镜加 工系统(6)， 所述固定支撑系统上设置有运动模组， 所 述固定支撑系统包括大理石底座(1)， 所述大理石底座(1)沿着Y轴负方向的一侧设置有大 理石横梁(3)， 所述大 理石横梁(3)沿着X轴方向设置且通过大 理石立柱(2)安装在大 理石底 座(1)上， 所述运动模组包括Y轴移动模组(8)、 旋转模组(10)、 第一X轴移动模组(12)、 第一Z 轴移动模组(13)、 第二Z轴移动模组(14)和第二X轴移动模组(15)， 所述Y轴移动模组(8)设 置在大理石底座(1)上， 所述Y轴移动模组(8)顶部的驱动端与上方的旋转模组(10)沿着 Y轴 方向驱动连接设置， 所述旋转模组(10)顶部的驱动端与上方的吸附平台(11)驱动连接设 置， 所述大 理石横梁(3)底部且靠近大 理石横梁(3)沿着Y轴正方向一侧的大 理石底座(1)上 设置有第一X轴移动模组(12)， 所述第一X轴移动模组(12)顶部的驱动端与上方的第二Z轴 移动模组(14)沿着X轴方向驱动连接设置， 所述第二Z轴移动模组(14)上的驱动端与侧振镜 加工系统(6)沿着Z轴方向驱动连接设置， 所述大理石横梁(3)上设置有第二X轴移动模组 (15)， 所述第二X轴移动模组(15)顶部的驱动端与光学系统(4)以及第一Z轴移动模组(13) 沿着X轴方向驱动连接设置， 所述第一Z轴移动模组(13)上的驱动端与上振镜加 工系统(5) 沿着Z轴方向驱动连接设置 。 2.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述光学系 统(4)包括激光器(17)、 若干个 分光模组(18)、 若干个光学上振镜(20)和若干个光学侧振镜 (21)， 所述激光器(17)通过若干个分光模组(18)、 若干个光学上振镜(20)和 若干个光学侧 振镜(21)将激光分成两 路的加工光束并分别进入到上振镜加工系统(5)和侧振镜加工系统 (6)中。 3.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述光学系 统(4)还包括若干个光闸(19)。 4.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述分光模 组(18)包括电机架(22)、 分光镜(24)和分光架(29)， 所述电机架(22)和分光架(29)并列设 置， 所述电机架(22)上第一侧靠近底部的位置设置有伺服电机(23)， 所述伺服电机(23)的 驱动端与电机架(22)上第二侧靠近底部位置的主动轮(25)驱动连接 设置， 所述主动轮(25) 通过皮带(26)与上方的从动轮(27)相连接， 所述从动轮(27)与安装在分光架(29)上的分光 镜(24)相连接 。 5.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述上振镜 加工系统(5)包括上振镜支架(30)， 所述上振镜支架(30)与第一Z轴移动模组(13)上的驱动 端相连接， 所述上振镜支架(30)上设置有第一反射镜(31)、 上振镜(32)和上场镜(33)， 所述 上场镜(33)的底部设置有上振镜集尘盒(35)， 所述上场镜(33)一侧的上振镜支架(30)上设 置有定位C CD相机(40)。 6.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述侧振镜 加工系统(6)包括侧振镜支架(36)， 所述侧振镜支架(36)与第二Z轴移动模组(14)上的驱动 端相连接， 所述侧振镜支架(36)上设置有第二反射镜(37)、 侧振镜(38)和侧场镜(39)， 所述 侧场镜(39)上设置有侧振镜集尘盒(41)， 所述侧场镜(39)一侧的侧振镜支架(36)上设置有 校正影像CCD相机(34)。 7.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 还包括检测权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 218080966 U 2系统(7)， 所述运动模组还包括第三X轴移动模组(16)， 所述第三X轴移动模组(16)设置在大 理石横梁(3)沿着 Y轴负方向的一侧， 所述第三X轴移动模组(16)上的驱动端与检测系统(7) 沿着X轴方向驱动连接设置 。 8.如权利要求7所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述检测系 统(7)包括检测支架(42)， 所述检测支架(42)与第三X轴移动模组(16)上的驱动端相连接， 所述检测支架(42)上靠近顶部的位置设置有上视野相机(43)， 所述检测支架(42)上靠近中 部的位置 设置有侧视野相机(44)， 所述检测支架(42)上靠近底部的位置 设置有下视野相机 (45)， 所述上视野相机(43)、 侧视野相机(44)和下视野相机(45)上均安装有可45度旋转的 转角镜(46)。 9.如权利要求8所述的组合式振镜三维激光刻 蚀及检测设备， 其特征在于， 所述上视野 相机(43)和侧视野相机(44)的检测端均朝向Z轴方向的一侧， 所述下视野相机(45)的检测 端朝向Y轴方向的一侧。 10.如权利要求8所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备， 其特征在于， 所述检测 支架(42)上还设置有用于对 上视野相机(43)在Z轴方向移动的Z轴向调整滑台， 所述检测支 架(42)上还设置有用于对侧视野相机(44)和下视野相机(45)在X、 Y和Z 方向上移动的XYZ三 轴向调整滑台。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 218080966 U 3