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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221716169.3 (22)申请日 2022.07.05 (73)专利权人 深圳市标谱半导体股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区航城街 道三围社区内环路同富裕工业园茶树 A栋1层-3层、 5-8层 (72)发明人 段雄斌 张利利 庞华贵 何选民  (74)专利代理 机构 深圳中一联合知识产权代理 有限公司 4 4414 专利代理师 许烁 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01) (54)实用新型名称 芯片检测收光装置及芯片测试机 (57)摘要 本申请属于芯片光测试技术领域, 尤其涉及 一种芯片检测收光装置及芯片测试机, 该芯片检 测收光装置包括安装座、 积分球、 光线和转盘, 所 述积分球安装于所述安装座上; 所述光纤安装于 所述安装座上, 所述光纤的进光端与所述积分球 的出光口相对设置; 所述转盘转动安装于安装座 上并位于所述光纤的进光端与所述积分球的出 光口之间, 所述转盘的周缘开设有多个安装孔, 所述安装孔沿所述转盘的周向分布, 不同的所述 安装孔内安装有不同的透光片; 其中, 所述转盘 相对于所述安装座转动时能够驱动不同的所述 透光片与所述积分球的出光口相对设置。 该芯片 检测收光装置能够满足多样化多档位的测试需 求, 适用范围广, 通用性 好。 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 CN 218003233 U 2022.12.09 CN 218003233 U 1.一种芯片检测收光装置, 其特 征在于, 包括: 安装座; 积分球, 所述积分球安装于所述 安装座上; 光纤, 所述光纤安装于所述安装座上, 所述光纤的进光端与所述积分球的出光口相对 设置; 转盘, 所述转盘转动安装于安装座上并位于所述光纤的进光端与所述积分球的出光口 之间, 所述转盘的周缘开设有多个安装孔, 所述安装孔沿所述转盘的周向分布, 不同的所述 安装孔内安装有不同的透光片; 其中, 所述转盘相对于所述安装座转动时能够驱动 不同的所述透光片与所述积分球的 出光口相对设置 。 2.根据权利要求1所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述安装孔沿所述转盘的周 向均匀间隔设置 。 3.根据权利要求2所述的芯片检测收光装置, 其特 征在于: 所述 安装孔的数量 为六个。 4.根据权利要求1所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述安装孔的内壁内设置沿 轴向间隔分布的限位凸起和限位圈, 所述透光片夹持于所述限位凸起和所述限位圈之间。 5.根据权利要求4所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述限位凸起为沿所述安装 孔周向延伸的环形凸起。 6.根据权利要求1~5任一项所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述芯片检测收 光装置包括旋转驱动件, 所述旋转驱动件安装于所述安装座上, 所述旋转驱动件的驱动端 与所述转盘连接并用于驱动所述 转盘转动。 7.根据权利要求6所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述旋转驱动件的驱动端设 置有归位片, 所述安装座上设置有归位传感器, 所述归位传感器与所述归位片相适配, 以用 于识别所述 转盘的原点 位置, 所述归位传感器与所述旋转驱动件电性连接 。 8.根据权利要求7所述的芯片检测收光装置, 其特征在于: 所述归位片的周缘开设有缺 口, 所述归位片的边缘插入所述归位传感器的检测端内, 所述归位片在所述缺口位于所述 归位传感器的检测端内时并触发所述归位传感器。 9.根据权利要求6所述的芯片检测收光装置, 其特 征在于: 所述旋转驱动件为马达 。 10.一种芯片测试机, 其特征在于: 包括权利要求1~9任一项所述的芯片检测收光装 置。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 218003233 U 2芯片检测收光装 置及芯片测试机 技术领域 [0001]本申请属于芯片光测试技术领域, 尤其涉及一种芯片检测收光装置及芯片测试 机。 背景技术 [0002]在芯片封装领域, 通常是利用探针将芯片点亮, 然后再利用芯片检测收光装置收 集经过芯片发出的光线, 并对收集后的光线进行分析后, 便可得到 芯片的光学特征, 但是现 有的芯片检测收光装置只能满足单一的测试需求, 测试功 能单一, 不能满足多样化的测试 需求。 实用新型内容 [0003]本申请的目的在于提供一种芯片检测收光装置及芯片测试机, 旨在解决现有技术 中的芯片检测收光装置测试功能单一的技 术问题。 [0004]为实现上述目的, 本申请采用的技 术方案是: 一种芯片检测收光装置, 包括: [0005]安装座; [0006]积分球, 所述积分球安装于所述 安装座上; [0007]光纤, 所述光纤安装于所述安装座上, 所述光纤的进光端与所述积分球的出光口 相对设置; [0008]转盘, 所述转盘转动安装于安装座上并位于所述光纤的进光端与所述积分球的出 光口之间, 所述转盘的周缘开设有多个安装孔, 所述安装孔沿所述转盘的周向分布, 不同的 所述安装孔内安装有不同的透光片; [0009]其中, 所述转盘相对于所述安装座转动时能够驱动不同的所述透光片与所述积分 球的出光口相对设置 。 [0010]可选地, 所述 安装孔沿所述 转盘的周向均匀间隔设置 。 [0011]可选地, 所述 安装孔的数量 为六个。 [0012]可选地, 所述安装孔的内壁内设置沿轴向间隔分布的限位凸起和限位圈, 所述透 光片夹持于所述限位凸起和所述限位圈之间。 [0013]可选地, 所述限位凸起 为沿所述 安装孔周向延伸的环形凸起。 [0014]可选地, 所述芯片检测收光装置包括旋转驱动件, 所述旋转驱动件安装于所述安 装座上, 所述旋转驱动件的驱动端与所述 转盘连接并用于驱动所述 转盘转动。 [0015]可选地, 所述旋转驱动件的驱动端设置有归位片, 所述安装座上设置有归位传感 器, 所述归位传感器与所述归位片相适配, 以用于识别所述转盘的原 点位置, 所述归位传感 器与所述旋转驱动件电性连接 。 [0016]可选地, 所述归位片的周缘开设有缺口, 所述归位片的边缘插入所述归位传感器 的检测端内, 所述归位片在所述缺口位于所述归位传感器的检测端内时并触发所述归位传 感器。说 明 书 1/6 页 3 CN 218003233 U 3

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