(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211243635.5 (22)申请日 2022.10.11 (71)申请人 无锡地心科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区凤威路2 号 (72)发明人 许云飞　薛鹏飞　黄孝山　 (74)专利代理 机构 无锡智睿风行知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32631 专利代理师 张璋 (51)Int.Cl. B28D 5/00(2006.01) B28D 7/04(2006.01) B24B 41/06(2012.01) (54)发明名称 一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移 平台 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆快速调整多自由度 直线导轨位移平台， 包括台面、 底座以及若干个 驱动部， 所述驱动部的一端连接于所述底座、 另 一端连接于所述台面； 所述 驱动部包括连接于所 述底座的第一运动件、 驱动所述第一运动件直线 运动的驱动件、 连接于所述第一运动件的第二运 动件、 连接于第二运动件的铰接件， 所述第一运 动件具备第一楔 形面， 所述第二运动件具备第二 楔形面， 第二楔形面与第一楔形面契合， 使得第 二运动件的运动方向与第一运动件的运动方向 垂直； 铰接件的一端固定于第二运动件、 另 一端 铰接于台面。 本发明实现Z轴升降、 tip－tilt角 度变化的顺利转换， 使得台面运动较为平稳、 顺 滑， 不会卡顿， 解耦效果好， 响应力强， 调节范围 大。 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 CN 115476444 A 2022.12.16 CN 115476444 A 1.一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 包括 台面(2)、 底座(1) 以及若干个驱动部(3)， 所述 驱动部(3)的一端连接于所述底座(1)、 另一端 连接于所述台面 (2)； 所述驱动部(3)包括连接于所述底座(1)的第一运动件、 驱动所述第一运动件直线运动 的驱动件、 连接于所述第一运动件的第二运动件、 连接于所述第二运动件的铰接件， 所述第 一运动件具备第一楔形面， 所述第二运动件具备第二楔形面， 所述第二楔形面与所述第一 楔形面契合， 使得 所述第二 运动件的运动方向与所述第一 运动件的运动方向垂直； 所述铰接件的一端固定 于所述第二 运动件、 另一端铰接 于所述台面(2)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述第一运动件包括第一滑块(32)， 所述第一滑块(32)的表面为斜面， 且该斜面固定有斜 面导轨(35)， 所述斜面导轨(35)的工作面为所述第一楔形面； 所述第二运动件采用第二滑 块(36)， 所述第二滑块(36)的底面为所述第二楔形面， 所述第二滑块(36)的底面滑动式连 接于所述斜面导轨(35)的工作面， 使得 所述第二楔形面与所述第一楔形面契合。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述第一滑块(32)、 所述 斜面导轨(35)的运动方向指向所述台面(2)的中心。 4.根据权利要求2所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述第一运动件还包括平 面导轨(31)， 所述平 面导轨(31)的一侧面固定于所述底 座(1)、 另 一侧面滑动连接于所述第一滑块(32)； 所述驱动件采用直线电机(33)， 所述直线电机(33) 的定子固定于所述底 座(1)、 动子连接有 连接板(34)， 所述连接板(34)连接于所述第一滑 块 (32)以驱动所述第一滑块(32)直线运动。 5.根据权利要求2所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述铰接件采用球铰杆(5)， 所述球铰杆(5)包括杆体(52)、 固定于所述杆体(52)一端的球 体(51)， 所述杆体(52)的另一端 固定于所述第二滑块(36)的表面， 所述球体(51)铰接于所 述台面(2)。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述台面(2)的侧面嵌设有 连接块(21)， 所述连接块(21)开设有铰接孔， 所述球体(51)转动 式设于所述铰接孔内。 7.根据权利要求2所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述驱动部(3)配备有测量部(4)， 所述测量部(4)包括设于所述第一滑块(32)侧壁的光栅 尺(42)、 设于所述底座(1)上的读数头(41)。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆快速调 整多自由度直线导轨位移平台， 其特征在于： 所述驱动部(3)的数量 为3个， 沿着所述台面(2)的中心圆周均布。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115476444 A 2一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移平台 技术领域 [0001]本发明涉及精密平台， 具体是一种晶圆快速调整 多自由度直线导轨位移 平台。 背景技术 [0002]在晶圆的加工中， 由于晶圆的要求较高， 因此加工的平台一般使用精密 器件， 即精 密的加工平台。 [0003]目前的加工平台存在一些将升降动作与抬头低头式的角度变化动作结合使用的， 但是升降动作、 角度变化动作在转换时会出现卡顿、 颠簸现象， 升降与角度之间转换的过程 较为不便， 使得晶圆的加工会出现误差甚至中途中断。 发明内容 [0004]为解决上述现有技术的缺陷， 本发明提供一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位 移平台， 本发明实现Z轴升降、 tip－tilt角度变化的顺利转换， 使得台面运动较为平稳、 顺 滑， 不会卡顿， 解耦效果 好， 响应力强， 调节范围大。 [0005]为实现上述技术目的， 本发明采用如下技术方案： 一种晶圆快速调整多自由度直 线导轨位移平台， 包括台面、 底座以及若干个驱动部， 所述驱动部的一端连接于所述底座、 另一端连接 于所述台面； [0006]所述驱动部包括连接于所述底座的第一运动件、 驱动所述第一运动件直线运动的 驱动件、 连接于所述第一运动件的第二运动件、 连接于所述第二运动件的铰接件， 所述第一 运动件具备第一楔形面， 所述第二运动件具备第二楔形面， 所述第二楔形面与所述第一楔 形面契合， 使得 所述第二 运动件的运动方向与所述第一 运动件的运动方向垂直； [0007]所述铰接件的一端固定 于所述第二 运动件、 另一端铰接 于所述台面。 [0008]进一步地， 所述第一运动件包括第一滑块， 所述第一滑块的表面为斜面， 且该斜面 固定有斜面导轨， 所述斜面导轨的工作面为所述第一楔形面； 所述第二运动件采用第二滑 块， 所述第二滑块的底面为所述第二楔形面， 所述第二滑块的底面滑动式连接于所述斜面 导轨的工作面， 使得 所述第二楔形面与所述第一楔形面契合。 [0009]进一步地， 所述第一滑块、 所述 斜面导轨的运动方向指向所述台面的中心。 [0010]进一步地， 所述第一运动件还包括平面导轨， 所述平面导轨 的一侧面固定于所述 底座、 另一侧面滑动连接于所述第一滑块； 所述驱动件采用直线电机， 所述直线电机的定子 固定于所述底座、 动子连接有连接板， 所述连接板连接于所述第一滑块以驱动所述第一滑 块直线运动。 [0011]进一步地， 所述铰接件采用球铰杆， 所述球铰杆包括杆体、 固定于所述杆体一端的 球体， 所述杆体的另一端固定 于所述第二滑块的表面， 所述球 体铰接于所述台面。 [0012]进一步地， 所述台面的侧面嵌设有连接块， 所述连接块开设有铰接孔， 所述球体转 动式设于所述铰接孔内。 [0013]进一步地， 所述驱动部配备有测量部， 所述测量部包括设于所述第一滑块侧壁的说　明　书 1/5 页 3 CN 115476444 A 3