(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211076259.5 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 大连齐维科技发展 有限公司 地址 116085 辽宁省大连市甘井 子区凌水 镇七贤岭汇贤街9号 三层319室 (72)发明人 郭方准　石晓倩　赵荟如　 (74)专利代理 机构 大连大工智讯专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 2124 4 专利代理师 崔雪 (51)Int.Cl. G01N 21/47(2006.01) G01N 21/01(2006.01) B25B 11/00(2006.01) (54)发明名称 重负载高精度真空样品台 (57)摘要 本发明提供一种重负载高精度真空样品台， 包括样品扫描系统、 样品直线驱动机构和差分旋 转机构； 所述样品扫描系统用于固定待测样品， 并能实现待测样品在Y、 Z方向上的移动和转动； 所述样品直线驱动机构与 样品扫描系统连接， 并 能实现样品扫描系统X方向上的移动； 所述差分 旋转机构通过样品直线驱动机构与样品扫描系 统连接， 并能实现样品扫描系统以X方向为轴转 动。 本发明重负载高精度真空样品台能提高扫描 速度及反射率测量的精准度。 在真空可靠、 真空 度高的前提下， 对于样品实际光学常数的测量准 确有着重要意 义。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 115356293 A 2022.11.18 CN 115356293 A 1.一种重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 包括样品扫描系统、 样品直线驱动机构 和差分旋转机构； 所述样品扫描系统用于固定待测样品， 并能实现待测样品在Y、 Z方向上的 移动和转动； 所述样品直线驱动机构与样品扫描系统连接， 并能实现样品扫描系统X方向上 的移动； 所述差分旋转机构通过样品直线驱动机构与样品扫描系统连接， 并能实现样品扫 描系统以X 方向为轴转动。 2.根据权利要求1所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述样品扫描系统包 括： 镜架固定架(1)、 第一转角仪(21)、 第二转角仪(22 )、 第一滑动板(121)、 第二滑动板 (122)、 第一固定底板(31)、 第二固定底板(32)、 第一电机(111)、 第二电机(112)、 第三电机 (113)、 第四电机(114)、 第一丝杠结构和第二丝杠结构； 所述第一丝杠结构包括配合设置的 第一滚珠丝杠(141)和第一螺母(131)， 所述第二丝杠结构包括配合设置的第二滚珠丝杠 (142)和第二螺母(132)； 待测样品由镜架固定架(1)固定在重负载高精度真空样品台上， 所 述镜架固定架(1)、 第一转角仪(21)、 第二转角仪(22)、 第一滑动板(121)、 第一丝杠结构、 第 一固定底板(31)、 第二滑动板(12 2)、 第二丝杠结构和第二固定底板(32)顺次连接； 所述第一电机(111)能驱动第一转角仪(21)转动， 所述第三电机(113)能驱动第二转角 仪(22)转动； 所述第二电机(112)通过联轴器与第一滚珠丝杠(141)连接， 所述第一螺母 (131)与第一滑动板(121)连接， 所述第一丝杠结构的轴承座与第一固定底板(31)连接； 所 述第二电机(112)带动着联轴器转动， 带动第一滚珠丝杠(141)转动， 使与第一滚珠丝杠 (141)配合的第一螺母(131)在Z方向上移动， 使固定在镜架固定架(1)上的待测样品在Z方 向上移动； 第一固定底板(31)背离第一丝杠结构的一侧与第二滑动板(122)相连， 所述第四 电机(114)通过联轴器与第二滚 珠丝杠(142)连接， 所述第二螺母(132)与第二滑动板(122) 连接， 所述第二丝杠结构的轴承座与第二固定底板(32)连接； 第四电机(114)带动着联轴器 转动， 带动第二滚珠丝杠(142)转动， 使与第二滚珠丝杠(142)配合的第二螺母(132)在Y方 向上移动， 使固定在镜架固定架(1)上的待测样品在Y方向上移动。 3.根据权利要求2所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述第一电机(111)能 驱动第一转角仪(21)绕着Z轴转动， 所述第三电机(113)能驱动第二转角仪(22)绕着Y轴转 动。 4.根据权利要求3所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述第 一转角仪(21)转 动范围为 ±15°,所述第二 转角仪(2 2)转动范围为 ±15°。 5.根据权利要求1所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述样品直线驱动机构 包括： 第一镜架驱动轴(61)、 第三螺母(133)、 第三滚珠丝杠(143)、 第七电机(117)、 固定座 (5)和第一探测器轴(71)， 所述第一探测器轴(71)套设在第一镜架驱动轴(61)外侧， 所述第 一镜架驱动轴(61)通过固定座(5)与样品扫描系统的第二固定底板(32)连接； 所述第三滚 珠丝杠(143)沿X方向设置， 所述第三滚珠丝杠(143)在真空腔体内第七电机(117)的驱动下 转动， 继而使 得第三滚珠丝杠(143)上的第三螺母(133)作X方向上的移动； 所述第一镜架驱 动轴(61)套设在第三螺母(133)外侧并与其固定， 所以第三螺母(133)的移动带动第一镜架 驱动轴(61)作相同方向的移动， 进 而带动了样品扫描系统作X 方向上的移动。 6.根据权利要求1所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述差分旋转机构包括 镜架转动法兰(9)、 探测器转动法兰、 第二镜架驱动轴(62)、 第二探测器轴(72)、 样品轴 (15)、 第五电机(1 15)、 第六电机(1 16)、 第三 转角仪(23)、 第四转角仪(24)；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115356293 A 2所述第三转角仪(23)通过镜架转动法兰(9)与第二镜架驱动轴(62)连接， 所述第五电 机(115)驱动第三转角仪(23)转动， 带动着镜架转动法兰(9)转动， 进而带着第二镜架驱动 轴(62)进行转动； 所述第二镜架驱动轴(62)通过样品轴转接板与样品轴(15)相连， 进而带 动样品轴(15)转动； 所述样品轴(15)上设置有缝隙， 所述第一镜架驱动轴(61)上设置有深 入缝隙的凸起， 所述样 品轴(15)的转动会带动第一镜架驱动轴(61)转动， 最后带动整个样 品扫描系统转动； 所述第四转角仪(24)通过探测器转动法兰(10)与第二探测器轴(72)连 接； 所述第六电机(116)驱动第四转角仪(24)转动， 带动探测器转动法兰(10)转动， 进而带 着第二探测器轴(72)进行转动， 所述第二探测器轴(72)通过探测器转接板与样品直线驱动 机构中的第一探测器轴(71)相连， 最后带着第一探测器轴(71)进行转动。 7.根据权利要求6所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述第 二探测器轴(72) 和样品轴(15)的转动速度不 一致。 8.根据权利要求6所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 所述第五电机(115)驱 动第三转角仪(23)绕着X轴转动； 所述第六电机(1 16)驱动第四转角仪(24)绕着X轴转动。 9.根据权利要求6所述重负载高精度真空样品台， 其特征在于， 包括分子泵锥形管(8) 进行抽气， 所述分子泵锥形 管(8)与镜架驱动轴的排气管路连通。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115356293 A 3