(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123285 300.3 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 芜湖启迪半导体有限公司 地址 241000 安徽省芜湖市弋江区高新 技 术产业开发区服 务外包园3号楼180 3 (72)发明人 仇成功　赵海明　胡新星　左万胜　 刘敏　唐建平　王丽多　袁松　 钮应喜　 (74)专利代理 机构 芜湖安汇知识产权代理有限 公司 34107 专利代理师 朱圣荣 (51)Int.Cl. B08B 1/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B08B 15/04(2006.01)C23C 16/44(2006.01) C30B 25/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种MOCVD设备反应室喷淋口 的清洁装置 (57)摘要 本实用新型揭示了一种MOCVD设备反应室喷 淋口的清洁装置， 清洁装置设有风罩， 所述风罩 的底板上固定有电机， 所述电机的输出轴连接风 罩内的刀座， 所述刀座上固定有刀片， 所述风罩 上设有抽尘孔， 所述抽尘孔与软管一端连接， 所 述软管的另一端连接吸尘设备。 本实用新型采用 半自动化代替手动清洁， 节省操作人员体力， 提 高工作效率， 并且能够减少手动清洁时产生的大 量颗粒物， 进而降低因颗粒物掉落至衬底表面而 引起的外延层缺陷。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 216574396 U 2022.05.24 CN 216574396 U 1.一种MOCVD设备反应室喷淋口的清洁装置， 其特征在于： 清洁装置设有风罩， 所述风 罩的底板上固定有电机， 所述电机的输出轴连接风罩内的刀座， 所述刀座上固定有刀片， 所 述风罩上设有抽尘孔， 所述抽尘孔与软 管一端连接， 所述软 管的另一端连接吸尘设备。 2.根据权利要求1所述的清洁装置， 其特征在于： 所述风罩由底板和围板构 成一端开口 的桶状结构。 3.根据权利要求2所述的清洁装置， 其特征在于： 所述刀座位于风罩开口端设有刀 头固 定位， 且刀头固定位 顺着电机 旋转方向含有一定的倾 斜角。 4.根据权利要求1、 2或3所述的清洁装置， 其特征在于： 所述刀片为凸出刀座的条状结 构， 所述刀片的刀刃截面成三角形。 5.根据权利要求 4所述的清洁装置， 其特 征在于： 所述 风罩的外表面连接有把手。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216574396 U 2一种MOCVD设 备反应室喷淋口的清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及MOCVD设备清洁技 术领域。 背景技术 [0002]MOCVD(金属有机化学气象沉积)设备是目前外延 生长第三代半导体外延片以及发 光二极管(LED)的主要设备之一。 外延设备反应 室主要分为水平式反应腔(反应源通过喷淋 口水平喷出)和垂直式反应腔(反应源通过喷淋口垂直喷出)两种类型。 [0003]针对于垂直式反应腔， 外延生长后特别是对于含高Al组分外延生长时， 在反应室 喷淋口处存在大量附着物。 该附着物主要是氮化铝(Al  N)， 氮化镓铝(Al  GaN)， 氮化镓 (GaN)等产 物。 该附着物 容易堵塞反应 室喷淋口， 导致生产的外延片均匀性变差， 缺陷变多， 良率变低， 增大了 外延成本 。 [0004]因此每次外延生长结束后要进行附着物的清洁， 使得喷淋口处干净， 畅通且无堵 塞现象。 现在所使用清洁外延设备反应室喷淋头的方法主要是一只手持刮刀， 另外一只手 持吸尘器进行清洁工作， 但是该附着物硬度高， 附着较为致密， 难以清洁， 上述手动清洁方 式不但笨拙， 而且在清洁过程中铲下 的附着物会扬起大量的颗粒物， 无法被 吸尘器完全吸 入， 导致外延设备手套箱内的颗粒度变大， 并且在外延生长时因大量的颗粒掉落物使得外 延片缺陷增多， 同时这种清洁方法对操作人员的体力消耗 也非常大。 发明内容 [0005]本实用新型所要解决的技术问题是实现一种方便、 干净并且更加自动化的去解决 反应室喷淋口处附着物的清洁装置 。 [0006]为了实现上述目的， 本 实用新型采用的技术方案为： 一种MOCVD设备反应室喷淋口 的清洁装置， 清洁装置 设有风罩， 所述风罩的底板上固定有电机， 所述电机的输出轴连接风 罩内的刀座， 所述刀座上固定有刀片， 所述风罩上设有抽尘孔， 所述抽尘孔与软管一端连 接， 所述软 管的另一端连接吸尘设备。 [0007]所述风罩有底板和围板构成一端开口 的桶状结构。 [0008]所述刀座位于风罩开口端设有刀头固定位， 且刀头固定位顺着电机旋转方向含有 一定的倾 斜角。 [0009]所述刀片为凸出刀座的条状结构， 所述刀片的刀刃截面成三角形。 [0010]所述风罩的外表面连接有把手。 [0011]本实用新型采用半自动化代替手动 清洁， 节省操作人员体力， 提高工作效率， 并且 能够减少手动清洁时产生的大量颗粒物， 进而降低因颗粒物掉落至衬底表面而引起的外延 层缺陷。 附图说明 [0012]下面对本实用新型说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：说　明　书 1/2 页 3 CN 216574396 U 3