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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123345184.X (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 山东晶导微电子股份有限公司 地址 273100 山东省济宁市曲阜市春秋东 路166号 (72)发明人 孟恒 刘君 孔斯  (74)专利代理 机构 济宁汇景知识产权代理事务 所(普通合伙) 37254 专利代理师 苟莎 (51)Int.Cl. B08B 15/04(2006.01) B08B 17/00(2006.01) (54)实用新型名称 蒸发台火山口清理箱 (57)摘要 本申请涉及坩埚 技术领域, 特别是涉及 蒸发 台火山口清理箱: 箱体, 箱体的底部和顶部分别 以能够打开方式设置有顶盖和底盖; 通孔, 通孔 沿竖向开设在底盖上; 伸缩套筒, 伸缩套筒外壁 与通孔内壁以间隙方式滑动配合; 扩口, 扩口呈 喇叭状结构固设在伸缩套筒上部; 限位环, 限位 环套设在伸缩套筒外壁, 且限位环位于底盖下 部; 通过以伸缩方式设置伸缩套筒, 将伸缩套筒 下端口直接放在火山口处, 对喷出的材料及时收 集, 避免材料的崩溅造成其他部件的污染; 通过 设置箱体, 能够延长该装置的使用周 期, 无需每 天清理, 节省时间, 该装置整体上提升了作业效 率、 降低了安全风险, 为企业创造 了极好的效益。 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 CN 216501435 U 2022.05.13 CN 216501435 U 1.蒸发台火山口清理箱, 其特 征在于, 包括: 箱体 (1) , 箱体 (1) 的底部和顶部分别以能够打开方式设置有顶盖 (2) 和底盖 (3) ; 通孔 (4) , 通 孔 (4) 沿竖向开设在底盖 (3) 上; 伸缩套筒 (5) , 伸缩套 筒 (5) 外壁与通 孔 (4) 内壁以间隙方式滑动配合; 扩口 (6) , 扩口 (6) 呈喇叭状结构固设在伸缩套 筒 (5) 上部; 限位环 (7) , 限位环 (7) 套设在伸缩套 筒 (5) 外壁, 且限位环 (7) 位于底盖 (3) 下部 。 2.根据权利要求1所述的蒸发台火山口清理箱, 其特征在于: 所述伸缩套筒 (5) 高度范 围为10公分 ‑30公分。 3.根据权利 要求1所述的蒸发台火山口清 理箱, 其特征在于: 顶盖 (2) 一侧与箱体 (1) 以 铰接结构方式相连, 顶盖 (2) 上设置有用于观察箱体 (1) 内情况的观察窗 (8) 。 4.根据权利要求1所述的蒸发台火山口清理箱, 其特征在于: 箱体 (1) 两相对侧壁以固 定结构方式设置有吊耳 (9) 。 5.根据权利 要求1所述的蒸发台火山口清 理箱, 其特征在于: 通孔 (4) 下部的底盖 (3) 上 开设有容纳限位环 (7) 匹配的环形腔 (10) 。 6.根据权利要求1所述的蒸发台火山口清理箱, 其特征在于: 还设置有搭扣锁 (11) , 底 盖 (3) 一侧与箱体 (1) 一侧以铰接结构方式相连, 底盖 (3) 另一侧通过搭扣锁 (11) 与 箱体 (1) 另一侧相连。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216501435 U 2蒸发台火山口清理箱 [0001]技术领域: [0002]本申请涉及坩埚技 术领域, 特别是 涉及蒸发台火山口清理箱。 [0003]背景技术: [0004]镀膜机四穴位蒸发镀膜过程中, 会有材料贴敷在火山口表面, 堆积一定厚度, 需要 车间操作人员及时清理, 由于火山口位于镀膜机内, 在清理过程中不好拿捏, 清理不干净, 有时候还会伤到工件和操作人员, 在清理过程中, 还容易破坏坩埚内壁, 存在一定经济风 险。 [0005]实用新型内容: [0006]针对现有技术存在的不足, 本实用新型目的是提供蒸发台火山口清理箱, 以解决 现有技术中不易清理, 清理不干净的问题。 [0007]为解决上述 技术问题, 本实用新型 所采用的技 术方案是: [0008]蒸发台火山口清理箱, 其特 征在于, 包括: [0009]箱体, 箱体的底部和顶部分别以能够打开方式设置有顶盖和底盖; [0010]通孔, 通孔沿竖向开设在底盖上; [0011]伸缩套筒, 伸缩套 筒外壁与通 孔内壁以间隙方式滑动配合; [0012]扩口, 扩口呈喇叭状结构固设在伸缩套 筒上部; [0013]限位环, 限位环套设在伸缩套 筒外壁, 且限位环位于底盖下部 。 [0014]进一步地, 所述伸缩套 筒高度范围为10公分 ‑30公分。 [0015]进一步地, 顶盖一侧与箱体以铰接结构方式相连, 顶盖上设置有用于观察箱体内 情况的观察窗。 [0016]进一步地, 箱体两相对侧壁以固定结构方式设置有吊耳。 [0017]进一步地, 通孔下部的底盖上开设有容纳限位环匹配的环形腔。 [0018]进一步地, 还设置有搭扣锁, 底盖一侧与箱体一侧以铰接结构方式相连, 底盖另一 侧通过搭扣锁与箱体另一侧相连。 [0019]本实用新型的有益效果是: 通过以伸缩方式设置伸缩套筒, 将伸缩套筒下端口直 接放在火山口处, 对喷出的材料及时收集, 避免材料的崩溅造成其他部件的污染; 通过设置 箱体, 能够延长该装置的使用周期, 无需每天清理, 节省时间, 该装置整体上提升了作业效 率、 降低了安全风险, 为企业创造 了极好的效益。 [0020]附图说明: [0021]图1是本实用新型 结构示意图; [0022]图2是本实用底盖及伸缩套 筒部件剖面结构示 意图。 [0023]图中: [0024]1、 箱体, 2、 顶盖, 3、 底盖, 4、 通孔,  5、 伸缩套筒, 6、 扩口, 7、 限位环, 8、 观察窗, 9、 吊 耳, 10、 环形腔, 1 1、 搭扣锁。 [0025]具体实施方式: [0026]为使本实用新型实施的目的、 技术方案和优点更加清楚, 现在将参考附图和以下说 明 书 1/2 页 3 CN 216501435 U 3

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