(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222043600.9 (22)申请日 2022.08.04 (73)专利权人 江苏京创先进电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市 常熟市经济技 术开发区海 城路2号9幢 (72)发明人 于光明　武支标　刘炳先　金道成　 孙志超　 (74)专利代理 机构 南京艾普利德知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 32297 专利代理师 顾祥安 (51)Int.Cl. B65G 49/06(2006.01) B65G 49/07(2006.01) B65G 47/90(2006.01)B65G 47/91(2006.01) (54)实用新型名称 一种适用于划片机的上 下料装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种适用 于划片机的上 下料装置及直推式夹取装置， 其中一种适用于划 片机的上下料装置包括安装板， 所述安装板底部 设置有定位支架， 所述定位支架上对称设置有真 空吸盘， 所述安装板底部设置有定位杆， 所述定 位杆上靠近安装板边缘的一端设置有直推式夹 取装置， 所述直推式夹取装置包括固定在所述定 位杆上的伸缩气缸， 所述伸缩气缸驱动夹取组件 在所述安装板外部沿所述定位杆的长度方向往 复平移。 本方案占用空间小， 不会干涉真空吸盘 的工作， 同时减少了整个上下料装置的运动路 径， 增加了调整精度， 提高了 工作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217996014 U 2022.12.09 CN 217996014 U 1.一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 包括安装板， 所述安装板底部设置有 定位支架， 所述定位支架上对称设置有真空吸盘， 所述安装板底部 设置有定位杆， 所述定位 杆上靠近安装板边缘的一端设置有直推式夹取装置， 所述直推式夹取装置包括固定在所述 定位杆上的伸缩气缸， 所述伸缩气缸驱动夹取组件在所述安装板外部沿所述定位杆的长度 方向往复平 移。 2.根据权利要求1所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述伸缩气缸 上设置有伸缩杆， 所述伸缩杆与所述夹取组件通过一 ”L”型连接板连接。 3.根据权利要求2所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述 ”L”型连 接板包括第一连接板和垂直设置在所述第一连接板上的第二连接板， 所述夹取组件与第一 连接板连接， 所述伸缩杆与第二连接 板连接。 4.根据权利要求2所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述夹取组件 包括底座， 所述底座远离伸缩气缸 的一端对称设置有上夹片和下夹片， 所述下夹片通过夹 取气缸驱动上 下运动。 5.根据权利要求4所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述底座上设 置有导轨， 所述下夹片设置在所述 导轨上并沿所述 导轨平移。 6.根据权利要求1所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述定位支架 通过升降气缸驱动， 带动所述真空吸盘在所述安装板的底部上下运动， 所述升降气缸设置 在所述安装板的上表面， 所述安装板上设置有通孔， 升降气缸的导杆穿过通孔并与所述定 位支架连接。 7.根据权利要求6所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述定位支架 整体呈“工”字型， 包括对称设置的两个吸盘固定板以及连接在两个吸盘固定板之间的连 杆， 每个吸盘固定 板的两端均设置有真空吸盘。 8.根据权利要求7所述的一种适用于划片机的上下料装置， 其特征在于： 所述真空吸盘 包括设置在所述吸盘固定板底部的真空吸嘴以及与所述吸盘固定板连接的限位板， 所述真 空吸嘴和固定 板之间还设置有缓冲弹簧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217996014 U 2一种适用于划片机的上下 料装置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆加工领域， 尤其涉及一种适用于划片机的上 下料装置。 背景技术 [0002]在划片机 的工作过程中， 需要使用上下料装置实现产品在各工作平台间的移载， 在上料过程中， 需要 先通过夹取装置将晶圆自料盒取出， 而晶圆放置在工作 平台上后， 为确 保运输的稳定性， 通常使用真空吸盘3吸 附晶圆表面的边缘处或者用于盛放晶圆的框架的 表面， 如图4所示， 现有的夹取装置通常采用翻转式夹取装置100， 通过一翻转气缸101带动 夹片盒转动， 当需要夹取产品时， 将夹片盒翻转至上下料装置的侧 面， 当产品夹取完毕时， 再将夹片盒翻转回安装板1上设置的夹片盒盖内， 防止夹取装置在高度方向上 的干涉造成 真空吸盘3无法吸取产品， 然而， 这种设置占用空间较大， 且夹取装置在取料时， 只能通过与 安装板1连接的机械臂在导轨上 的平移调整与料盒之间的距离， 而这种调节方式增加了机 械臂的运动路径， 调节 精度低， 降低了 工作效率。 实用新型内容 [0003]因此， 为解决上述问题， 本实用新型提供了一种适用于划片机的上 下料装置。 [0004]本实用新型 是通过以下技 术方案实现的： [0005]一种适用于划片机的上下料装置， 包括安装板， 所述安装板底部设置有定位支架， 所述定位支架上对称设置有真空吸盘， 所述安装板底部设置有定位杆， 所述定位杆上靠近 安装板边缘的一端设置有直推式夹取装置， 所述直推式夹取装置包括固定在所述定位杆上 的伸缩气缸， 所述伸缩气缸驱动夹取组件在所述安装板外部沿所述定位杆的长度方向往复 平移。 [0006]优选的， 所述伸缩气缸上设置有伸缩杆， 所述伸缩杆与所述夹取组件通过一 ”L”型 连接板连接。 [0007]优选的， 所述 ”L”型连接板包括第一连接板和垂直设置在所述第一连接板上的第 二连接板， 所述夹取组件与第一连接 板连接， 所述伸缩杆与第二连接 板连接。 [0008]优选的， 所述夹取组件包括底座， 所述底座远离伸缩气缸的一端对称设置有上夹 片和下夹片， 所述下夹片通过夹取气缸驱动上 下运动。 [0009]优选的， 所述底座上设置有导轨， 所述下夹片设置在所述导轨上并沿所述导轨平 移。 [0010]优选的， 所述定位支架通过升降气缸驱动， 带动所述真空吸盘在所述安装板 的底 部上下运动， 所述升降气缸设置在所述安装板的上表面， 所述安装板上设置有通孔， 升降气 缸的导杆穿过通 孔并与所述定位支 架连接。 [0011]优选的， 所述定位支架整体呈 “工”字型， 包括对称设置的两个吸盘固定板以及连 接在两个吸盘固定 板之间的连 杆， 每个吸盘固定 板的两端均设置有真空吸盘。 [0012]优选的， 所述真空吸盘包括设置在所述吸盘固定板底部的真空吸嘴以及与所述吸说　明　书 1/3 页 3 CN 217996014 U 3